顯微激光測(cè)振儀

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顯微激光測(cè)振儀是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測(cè)量?jī)x器，也是一款可視化顯微測(cè)量分析的理想工具。它可以通過(guò)顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，可以精確測(cè)量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移等信息），激光光斑達(dá)微米量級(jí)，并可通過(guò)顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)精確定位被測(cè)點(diǎn)位置。

特點(diǎn)：

非接觸測(cè)量，無(wú)負(fù)載
激光光斑極小，微米級(jí)
優(yōu)越的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍
高空間分辨率
工作距離可選
高靈活性、易安裝、易操作
振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測(cè)量精度高
配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測(cè)量位置。

技術(shù)參數(shù)：

LV-S01-M 光學(xué)頭參數(shù)
尺寸（ LWH ）	454.8 × 270 × 643mm
重量	5kg
聚焦方式	手動(dòng)聚焦
激光波長(zhǎng)	He-Ne laser 632.8nm
激光功率	＜ 2mW
工作距離	0.35m-20m( 取決于被測(cè)物體表面）

LV-S01-M 控制箱參數(shù)
尺寸（ LWH ）	450 × 421 × 149mm
重量	8kg
最大測(cè)量速度	± 10m/s
最大測(cè)量位移	± 2m
輸出電壓范圍	± 10V
頻率范圍	DC ～ 3MHz DC ～ 25MHz
濾波設(shè)置	高通、低通濾波，跟蹤濾波
最大線性誤差	＜± 1%
速度分辨率	優(yōu)于 0.01 μ m/s/ √ Hz
位移分辨率	優(yōu)于 1pm
模擬輸出	BNC 接口輸出
數(shù)字輸出	RJ45 千兆以太網(wǎng)口
低通濾波器	2kHz,10kHz,20kHz,40kHz,80kHz,160kHz,320kHz,1MHz,3MHz(VD-18/DD-27 解碼器 )/ 100kHz,1MHz,2MHz,4MHz,10MHz,25MHz(DD-25M 解碼器 )
跟蹤濾波器（選配）	Slow ， Medium ， Fast ， Off
信號(hào)電平顯示	反光信號(hào)強(qiáng)度顯示、 DC 電壓信號(hào)輸出（ BNC 接口， 0…5V ）
顯示	帶交互式菜單引導(dǎo)設(shè)置的彩色屏
工作溫度	+3 °C … +45 °C
存儲(chǔ)溫度	-10 °C … +65 °C
相對(duì)濕度	<90%
供電電源	100...240 VAC±10 %, 50/60 Hz
防護(hù)等級(jí)	IP54

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